BROOKS 5805E 質量流量控制器
MASS FLOW CONTROLLER 5850E
Flow range: 30sccm~30slm
Fitting:1/4" swaglock, 1/8" swaglock,1/4" VCR
Connector:D-Type
Brooks(USA)
- 氣體質量流量計:顯示氣體流量
- 氣體質量流量控制器:顯示氣體流量、控制氣體流量、控制流量開關
特點:
數位和類比訊號輸出
互補金屬氧化半導體元件
不受溫度及壓力變化影響
最小壓力損失
高精準度和高解析度
外型設計美觀
規格:
氣體種類 : Air, O2, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8, N2O, SF6, C3H6, CO, C4H10..etc. (or request)
本體材質 : Aluminum, Stainless Steel
封口材質 : Viton, EPDM
準確度 : Standard: +/-1.5%FS Hi-performance:+/-1% of reading
比率 : 1:100 (Request)
反應時間 : <150ms
最大壓力 : Max.14 bar
類比輸出 : 4-20mA, 0-20mA, 0-5V, 0-10V,1-5V
數位輸出 : RS-485(Modbus RTU protocol)for Flow and Temperature
氣體範圍 : 2-200ml/min to 4-300Liter/min (Request)
電源供應器 : 24vdc +/-10%